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標題: 薄晶片有四種主要方法 [打印本頁]
作者: jfkj2020    時間: 2021-1-8 10:20
標題: 薄晶片有四種主要方法
薄晶片有四種主要方法，（1）機械研磨，（2）化學機械平面化，（3）濕法蝕刻和（4）大氣下游等離子體干法化學蝕刻（ADP DCE）。四種晶片減薄技術由兩組組成：研磨和蝕刻。為了研磨晶片，將砂輪和水或化學漿液結合起來與晶片反應并使之變薄，而蝕刻則使用化學物質來使基板變薄。

晶圓減薄YES（1月8）.docx

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薄晶片有四種主要方法，（1）機械研磨，（2）化學機械平面化，（3）濕法蝕刻和（4）大氣下游等離子體干法化 ...



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