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標(biāo)題: 濕法蝕刻工藝 [打印本頁(yè)]
作者: jfkj2020    時(shí)間: 2021-1-8 10:21
標(biāo)題: 濕法蝕刻工藝
濕法蝕刻工藝的原理是使用化學(xué)溶液將固體材料轉(zhuǎn)化為液體化合物。選擇性非常高，因?yàn)樗没瘜W(xué)藥品可以非常精確地適應(yīng)各個(gè)薄膜。對(duì)于大多數(shù)解決方案，選擇性大于100：1。

濕化學(xué)YES（1月8）.docx

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