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一文讀懂晶體生長和晶圓制備

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發布時間: 2018-7-4 17:04

正文摘要:

晶圓是如何生長的？又是如何制備的呢？本文的主要內容有：沙子轉變為半導體級硅的制備，再將其轉變成晶體和晶圓，以及生產拋光晶圓要求的工藝步驟。這其中包括了用于制造操作晶圓的不同類型的描述。生長450mm直徑的 ...

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